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全自动预清洗设备
用于激光划线后玻璃、、、、盖板玻璃清洗；采用超声波清洗，，，清洗更彻底。。。
喷墨打印设备
常见钙钛矿各功能层的膜层沉积，，无机盐层、、、有机盐层、、、、电子传输层、、空穴传输层、、、、界面调控层等。。。
空间型原子层镀膜设备（ALD）
双源管路设计，，，，快捷切换；精确控制原子级薄膜镀膜；布气板模块化设计，，，维护便捷。。
反应式等离子体镀膜设备（RPD）
低损伤、、、、低温高迁高透工艺；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。。。
磁控溅射镀膜设备（PVD）
低损工艺、、、、低温工艺、、、低阻&高透、、、、高温工艺≥300 ℃；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。。。。
蒸镀与反应式等离子体镀膜一体设备（VAR)
集成热蒸镀（VED）和反应式等离子(RPD)镀膜；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。。
反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜 一体设备（PAR）
集成磁控溅射(PVD)、、、反应式等离子(RPD)镀膜；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。。
多功能薄膜镀膜设备
集成热蒸镀（VED）、、、、磁控溅射(PVD)、、反应式等离子(RPD)镀膜，，，设备成本降低30%。。。。
量产型蒸镀设备
模块化设计，，设备更加灵活。。可根据需求快速调整产线的规模和配置。。。。
实验型蒸镀设备
根据钙钛矿工艺体系定制化设计，，可进行共蒸或顺蒸实验需求。。
点源蒸镀设备
单腔体设计，，，占地面积小，，操作时间短；配置多组蒸发源，，，，可实现共蒸。。
管式原子层镀膜设备
单腔体设计，，占地面积小，，操作时间短；适应不同前驱体、、不同材料的多层复合膜层镀膜，，工艺拓展空间大。。
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