反应式等离子体镀膜设备（RPD）
反应式等离子体镀膜设备（RPD）
技术特点 Features
· 低损伤、、、、低温高迁高透工艺；
· 产品系列从研发设备至量产设备全面布局;
· 立式传送&卧式传送；
· 应用于钙钛矿、、HJT、、HBC光伏/面板显示/芯片/锂电池等行业。。。。
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空间型原子层镀膜设备（ALD）
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磁控溅射镀膜设备（PVD）
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