技术特点 Features
· 模块化设计,,设备更加灵活。。。可根据需求快速调整产线的规模和配置;
· 直线型布局,,,搭载托盘自动下回流系统,,,全流程自动化;
· 采用完全自主知识产权的线性蒸发源设计,,,蒸发源多段控温、、、热场均匀;
· 高精准度的控制系统,,温度、、、、速率在线实时监控。。