多功能薄膜镀膜设备

  技术特点 Features  

· 集成热蒸镀（VED）
、、、、磁控溅射(PVD)、、、、反应式等离子(RPD)镀膜；

· 一台SPE1000T满足钙钛矿薄膜镀膜需求，，，，等同三台设备产能；

· 连续真空镀膜
，，，减少基板装/卸及膜层暴露大气次数，
，
，，有利于器件效率提升；

· 净化厂房面积需求缩小40%
，，设备成本降低30%。。。