全自动石墨舟装卸片机

  技术特点 Features  

· 设备模块化设计，，内部相似结构零部件高度统一，，便于备件管理
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· 采用触摸屏+PLC 控制
，，
，，操作界面简洁明了
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· 采用小舟流转装卸逻辑，，，产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。
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· 配置机台内部最高权限暂停功能
，，，充分提升机台安全冗余
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· 可配置行业主流检测设备（选配功能），，提升制成良率。。
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· 可搭配AGV，，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调度追溯，，，，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级管理和调度。。