多功能薄膜沉积设备(SPE)

  技术特点 Features  

· 将真空蒸镀、、、
、反应式等离子镀膜、
、、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体，，三种镀膜技术可同时独立运行，，实验开机率媲美三台设备，，产能高。。

· 实现蒸镀
、
、
、RPD、、PVD 真空连镀工艺，，，提供多种组合镀膜，
，
，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位，，有利于膜层界面优化、、、、减少装卸
、、传输损伤，，有利于量产设备的提效降本。。

· 采用与量产工艺统一的移动镀膜模式，，提高未来扩产成功率
、、减少大尺寸量产风险
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· 自主程序设计、、、人性化操作界面
；多层级权限设定，，，信息保密
；严谨完善的安全设计，，防呆功能周密；绿色环保、、、、节能设计 
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