板式等离子体增强化学气相沉积设备

  技术特点  Features  

· 最小反射功率的快速启辉、、均匀稳定大面积成膜。
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· 成熟稳定的多点馈入射频RF 技术、、、、技术兼容性和产品升级。。。
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· 腔体内反应间距可调、、
、、灵活的工艺窗口。
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· 大产能低成本、
、、定制设备结构。
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· 模块化设计便于安装和维护、、、、高标准的安全设计思想。。。。