光罩清洗设备

  技术特点 Features  

· 正面Force down Brush、
、rinse，，，，背面pellical氮气保护
。。。

· PA adder, 0.3µm ≤10ea，
，，，适用天车料盒、、、
、运输料盒。。。
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· 100%部件本土化，，，，本地软件团队，
，，，有独立的设计和专利。。
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