板式等离子体增强化学气相沉积设备

  技术特点  Features  

· 最小反射功率的快速启辉、、、均匀稳定大面积成膜
。。。

· 成熟稳定的多点馈入射频RF 技术、
、
、
、技术兼容性和产品升级。。

· 腔体内反应间距可调、、、、灵活的工艺窗口。。。

· 大产能低成本、、定制设备结构。。。

· 模块化设计便于安装和维护
、
、、、高标准的安全设计思想。。
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