单晶槽式制绒设备

  技术特点  Features  

· 产能：600片/批，，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，，
，，17280片/小时（182硅片）。。
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· 工艺槽循环量可调。。

· 制绒金字塔均匀，
，，，刻蚀深度可调。。

· 支持最薄120μm 硅片。
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· 洁净干燥区域，，自洁净干燥系统。。。。

· 低H₂O₂ 消耗。。。。

· 快速换液，，，，在线换液。。
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· 支持MES、
、RFID 及选配在线称重功能。
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