槽式RCA清洗设备

  技术特点  Features  

· 产能
：400片/批
，，
，，9600片/小时（210硅片）,480片/批，，，，12000片/小时（182硅片）。
。。。

· 支持多种添加剂技术
。。。。

· 支持最薄120μm硅片。。。

· 洁净区域干燥，，自洁净系统。。。

· 快速换液，，，在线换液。。

· 支持MES、、、、RFID及选配在线称重功能。。。