管式等离子体淀积炉

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管式等离子体淀积炉

  技术特点  Features  

· 可靠电极接触,,有效减少粉尘、、降低高频报警频次。。。

· 简单可靠自动上下舟机构,,,,提升设备维护空间与便利。。。

· 运动部件单面安装维护,,,,减少设备背靠背布局占地面积的同时不影响设备维护难度。。

· 高速平稳整体模组推舟机构。。

· 辅助加热专利技术。。。

· 快速镀膜工艺技术。。。

· 自主知识产权MES软件、、、中央计算机集中控制系统。。


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