管式扩散氧化退火炉

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管式扩散氧化退火炉

  技术特点  Features   

· 高方阻技术解决方案。。。。

· 配套相关专利技术,,,,可适用于硼扩散工艺。。

· 独特双嵌套炉门结构。。。

· 专利技术尾气处理系统。。

· 高速平稳整体模组推舟机构。。。。

· 智能化全自动控制。。。。

· 自主知识产权MES软件。。

· 全面的防超温、、、、断偶、、、撞舟等安全报警保护功能。。。

· 匹配S.C智能化生产管理系统。。


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