管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、
、
、、i-poly、、、
、D-poly 三合一同管完成，，，减少工艺环节，，，有效提升良率、、降低碎片率
。。

· 无热壁特性
，，
，，石英管使用寿命长。。。。

· 绕镀轻微，，，，易去除。。。

· 精准掺杂、、、
、可引入其它提效掺杂元素，
，，工艺拓展、、、、提效空间大。。
。。

· 防导通专利技术。。。
。