有篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，
，
，Nit Stripper，，，，Pre Clean，
，Metal Etch,，
，，EKC stripper，，，Post Ash Polymer Removal，，， Wafer Recycle, Carrier Clean.

· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.