光学连续式镀膜设备

  技术特点 Features  

· 采用等离子和石墨靶预处理装置，，有效提高膜层的结合力；

· 双溅射工艺腔室，，，单腔镀膜时间减半，，更短生产节拍；

· 配置多组溅射靶，，，，可以实现多材料高效率沉积；

· 多蒸发舟间距无级可调
，，
，ES距离可微调，，，注射泵精准控制补液计量，，保证产品抗油污性能；

· 大直径镀膜鼓设计，
，，
，定制化挂板方案，，
，，有效提高产能；

· 自动化控制上下板过程，，，，门阀
、、
、轨道安全检测，，，
，保证操作安全性。。