单面卷绕蒸发溅射一体机

  技术特点 Features  

· 蒸发腔
、
、溅射腔共存；

· 蒸发腔：单面蒸发，，
，可镀铝、、锂等低温蒸发材料；

· 溅射腔：6对旋转靶，，，，可替换平面靶；

· 后腔：可进行加热、、冷却
、、、、气体处理
、、
、plasma处理等。
。