双面卷绕溅射镀膜设备

  技术特点 Features  

· 一步法双面镀膜，，单面厚度30 nm~1000 nm ；

· 实现3~50 m/min工艺走速
、、、、1650大宽幅；

· 镀膜腔可拓展
，
，实现多种工艺和高速镀膜；

· 破空隔离：实现不破空快速换卷；

· 镀膜过程自动控制，
，主辊冷却 PID 温控调节，，计算机界面操作
。。