多功能薄膜沉积设备(SPE)

  技术特点 Features  

· 将真空蒸镀、、
、反应式等离子镀膜、、
、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体，，三种镀膜技术可同时独立运行，，实验开机率媲美三台设备
，
，
，产能高。。。。

· 实现蒸镀
、
、、RPD、、
、、PVD 真空连镀工艺
，
，
，提供多种组合镀膜，，，
，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位，，有利于膜层界面优化、
、减少装卸
、、、传输损伤，，有利于量产设备的提效降本。
。

· 采用与量产工艺统一的移动镀膜模式，，，，提高未来扩产成功率
、
、减少大尺寸量产风险
。
。。。

· 自主程序设计
、
、、人性化操作界面；多层级权限设定，，
，，信息保密；严谨完善的安全设计，，，防呆功能周密；绿色环保
、
、节能设计 。。。