光注入退火炉

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光注入退火炉

  技术特点  Features  

· 双轨产线,,,机架电气完全独立,,互不干扰。。。。

· 大产能:匹配丝印工序产能,,,,CT≤0.80秒,,基于硅片尺寸M10(18X±0.5mm*18X±0.5mm)。。。。

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