有篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，，，Nit Stripper，，Pre Clean，，，Metal Etch,，
，EKC stripper，
，，Post Ash Polymer Removal，，，， Wafer Recycle, Carrier Clean.

· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.