单面卷绕蒸发溅射一体机

  技术特点 Features  

· 蒸发腔、、溅射腔共存；

· 蒸发腔：单面蒸发，，
，可镀铝、、、锂等低温蒸发材料；

· 溅射腔：6对旋转靶，
，，可替换平面靶；

· 后腔：可进行加热
、
、、
、冷却、、气体处理、、plasma处理等
。。
。
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