涂布干燥晶化一体机

  技术特点 Features  

· 用于钙钛矿层与修饰层狭缝涂布、、、真空干燥与晶化；

· 共用上下料口，，，基片在上下料口、、、涂布机与真空晶化炉间；

· 自动传递；

· 气浮双龙门结构，，可实现单工位涂布两种不同的溶液；

· 密封防尘外罩，，，，一体机氛围可控。。