管式低压磷扩散炉

  技术特点  Features   

· 高方阻技术解决方案。。。

· 独特双嵌套炉门结构，，，有效解决炉口偏磷酸问题。。。

· 独特温区设置，，，有效解决炉口炉尾方阻均匀性
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· 高速平稳整体模组推舟机构。。

· 智能化全自动控制。。

· 自主知识产权MES软件
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· 匹配S.C智能化生产管理系统。。