管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、、、、i-poly、
、D-poly 三合一同管完成，，减少工艺环节，，，有效提升良率
、、降低碎片率
。
。。

· 无热壁特性，，，石英管使用寿命长。。

· 绕镀轻微
，，，易去除
。。

· 精准掺杂、、、、可引入其它提效掺杂元素
，
，工艺拓展、、、提效空间大
。。。
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· 防导通专利技术。。。。