从SiC到硅基功率器件，，，连续斩获多家功率器件Fab整厂湿法设备订单

2024年，，，公司子公司创微微电子（常州）有限公司（以下简称：创微微电子）先后中标江苏、、
、、湖北两家SiC功率器件Fab整厂湿法设备项目；2025年，，又成功取得湖南某硅基功率器件Fab整厂湿法槽式清洗设备订单
。。。。短短两年内，
，，创微微电子在功率半导体领域实现从第三代半导体SiC到传统硅基功率器件的全线布局与跨平台验证，，，进一步夯实了公司在湿法装备领域的综合竞争力与国产替代优势。。。。

 一、、、、连续中标，，，多地功率器件产线选择国产整线方案

2024年
，
，
，创微微电子凭借在槽式湿法清洗与特殊表面处理领域的技术积累
，
，，成功中标江苏、、湖北两家SiC功率器件Fab，
，，提供涵盖晶圆前处理、、、刻蚀后清洗、、
、、金属及介质层清洗、、、、终端工艺清洗在内的整厂湿法设备解决方案。。。

2025年，，
，创微微电子再下一城，，，
，取得湖南某硅基功率器件Fab湿法槽式无篮清洗设备整线订单，，，，实现了从SiC到硅基功率器件Fab的跨平台复制与规模化导入。
。
。这也意味着
，，，创微微电子的整线能力已经在国内多家功率器件厂完成落地和验证。。

 二
、
、、
、整厂湿法解决方案：从工艺到设备的一体化交付

本次整厂订单
，
，，，创微微电子将为客户提供
：

· 全流程湿法工艺覆盖：包括前清洗、、、
、刻蚀后清洗、、、金属/介质层间清洗
、、、终检前清洗等关键环节。。。

· 槽式无篮湿法平台：兼容6吋/8吋功率器件产线
，
，，，重点优化颗粒控制
、、、、金属离子残留及水印缺陷。。。。

· 整线集成与自动化：与Fab EAP系统对接接口，
，，，实现设备状态监控与工艺数据追溯。
。

· 从导入到量产的全周期服务：涵盖工艺评估、、、、联机验证、、良率爬坡与长期优化支持
。。
。。

通过“工艺+设备+服务”的一体化交付模式，，，创微微电子帮助客户在缩短导入周期的同时，，提高良率与产线稳定性，
，降低整体拥有成本。。

三、、
、SiC+硅基双轮驱动，，
，助力国产功率半导体产线升级

随着新能源汽车、、、光伏、、储能等应用的快速发展，，，功率器件对高耐压、、、高可靠性的要求持续提升。。
。。SiC功率器件加速放量的同时，
，，
，硅基功率器件仍在大量应用场景中发挥主力作用。。。

创微微电子通过：

· 在SiC Fab的整线实践中积累的高要求表面清洁与缺陷控制经验
。
。。。

· 在硅基功率器件Fab中实现工艺平台和设备配置的优化与复制。。。

形成了覆盖SiC与硅基功率器件的双轮驱动产品与工艺能力，，
，，持续推动国内功率半导体产线的技术升级与国产装备导入
。
。。。

四
、、扎根湿法工艺
，
，，服务全球客户

未来
，，，，依托嘉业通讯在新能源及半导体装备领域的产业布局
，
，，，创微微电子将继续深耕
：

· 槽式湿法清洗及特殊表面处理平台。。

· 面向SiC、、、GaN及硅基功率器件的定制化工艺方案。
。。。

· 高自动化、、智能化的整厂湿法解决方案
。。
。

在服务好现有国内客户的基础上，，
，积极拓展海外市场合作机会，，与更多功率器件厂商携手，，推动中国湿法装备走向更高电压、
、、、更严苛可靠性和更大规模量产的应用场景，
，为全球功率半导体产业链贡献“捷佳方案”“中国装备”的力量。。
。。